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钌铱合金回收此外，本发明的另一方面基于钌(Ru)和钌(Ru)基，例如，由通过该工艺形成的粉末材料制成并且由未使用的钌(Ru)和RuCr粉末材料制成。 而不是钌 (Ru) 和钌 (Ru) 基沉积源 (靶材) 的硬度钌铑合金回收由未使用的钌 (Ru) 和 RuCr 粉末材料制成，其密度对应于沉积源 (靶材) 的密度钌 (Ru) 和 钌 (Ru) 基沉积源，例如硬钌 (Ru) 和 RuCr 溅射靶。
纯化的再生钌(Ru)或再生钌(Ru)基合金材料可用于形成钌(Ru)和钌(Ru)基合金的沉积源，电子束镀膜钌回收例如溅射靶材。 .在再生RuCr粉末的情况下，根据所需的沉积源最终组成将铬（Cr）添加到其中。
根据本文公开和提供的方法，使回收和精制的钌(Ru)或钌(Ru)基合金粉末固化。三氯化钌化合物回收在这种情况下，固化过程可以包括选择性CIP，然后可以继续进行HIP、真空热压或放电等离子烧结以获得足够的密度。在这方面，CIP 对于化学再生钌 (Ru) 或钌 (Ru) 基合金粉末是必要的，因为振实密度低至约 5 m/cm 3。钌靶材回收再生钌 (Ru) 或再生钌 (Ru) 中的 CIP鉴于振实密度大于 5 m/cm 3 ，因此不需要使用由
例如，钌(Ru)和钌(Ru)合金基沉积源，工业用钌废渣回收例如钌(Ru)和RuCr溅射靶材，是由通过上述工艺通过常规粉末冶金技术形成的粉末材料制成的，其密度为钌 (Ru) 和 RuCr 粉末材料，其硬度相当于钌 (Ru) 和钌 (Ru) 基沉积源（靶材）的密度，由未使用的钌 (Ru) 和 RuCr 粉末材料制成 钌 (Ru) 和钌(Ru) 基沉积源（靶材）
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